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当前产品3轴机械臂小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂

3轴机械臂小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称上海衡鹏企业发展有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地上海
  • 厂商性质经销商
  • 更新时间2025/5/13 13:44:21
  • 访问次数2
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产品详情

小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂特点： 

超洁净无尘间用2轴圆柱坐标型洁净机械手臂SSCR3090S系列

适用于半导体生产设备内部，检测设备等小尺寸晶圆的搬运，通过优化机械手臂的空间尺寸，

有利于实现设备的小型化

机械手臂标准臂长：90mm

同SSCR2090S-PM兼容，连杆式手臂，可以定制没有Z轴模块的机械手臂

配备动作监视器

控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式

全轴使用2相步进电机

S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆

晶圆固定方式：真空吸附式，下托式

手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质

可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供的手指


小径晶圆用3轴圆柱坐标型洁净机械手臂基本参数：

使用环境

洁净间内的大气环境

手臂

单臂

到达距离

175mm (手臂第3关节中心到达距离)

升降轴行程

150mm

可搬运质量

0.1kg (只包含被搬运物体)(手臂第3关节处基准)




如需详细产品参数 请联系我们


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发布询价单

上海衡鹏企业发展有限公司

类型：
经销商
联系人：
陈静静

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商家概况

主营产品：
TAMURA田村锡膏、助焊剂；Malcom马康SMT周边设备仪器；GOOT固特SMT电烙铁及电焊台等
公司性质：
经销商

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