4轴机械臂小径晶圆用4轴圆柱坐标洁净机械手臂

适用于半导体生产设备内部，检测设备等小尺寸晶圆的搬运，通过优化机械手臂的空间尺寸，

有利于实现设备的小型化

提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装0.1µm级过滤器

适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式

配备动作监视器

控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式

全轴采用2相步进电机

S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆

晶圆固定方式: 真空吸附式，下托式，边缘夹持式

手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质

可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供的手指

手臂

单臂

到达距离

195mm (手臂第3关节中心到达距离)

升降轴行程

200mm / 300mm

可搬运质量

0.5kg (手臂第3关节处基准)