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当前产品3轴机械臂防水3轴圆柱坐标型晶圆搬运机械手臂

3轴机械臂防水3轴圆柱坐标型晶圆搬运机械手臂

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称上海衡鹏企业发展有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地上海
  • 厂商性质经销商
  • 更新时间2025/5/13 13:36:01
  • 访问次数
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产品详情

防水3轴圆柱坐标型机械晶圆搬运机械手臂特点： 

防水3轴圆柱坐标型机械手臂SWCR3000系列（配备300mm晶圆翻转机构+边缘夹持机构）

在保护等级IP64 LSI半导体生产工艺条件下，能够在酸性，碱性环境下搬运半导体晶圆

手臂部分采用特氟龙镀层保证耐腐蚀性

手臂关节部位防水结构使用V型密封圈

零件之间的结合面采用Viton材质的密封条

Z轴的防水结构可以使用蛇腹管

配备动作监视器

控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式

全轴采用2相步进电机

S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆

晶圆固定方式: 真空吸附式，下托式，边缘夹持式

可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供的手指


防水3轴圆柱坐标型机械晶圆搬运机械手臂基本参数：

使用环境

洁净间内的大气环境

手臂

单臂

到达距离

312mm (手臂第3关节中心到达距离)

升降轴行程

200mm / 300mm

可搬运质量

3kg以下 (手臂第3关节处基准)




如需详细产品参数 请联系我们


免责声明：以上所展示的信息由企业自行提供，内容的真实性、准确性和合法性由发布企业负责，兴旺宝网对此不承担任何保证责任。

发布询价单

上海衡鹏企业发展有限公司

类型：
经销商
联系人：
陈静静

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商家概况

主营产品：
TAMURA田村锡膏、助焊剂；Malcom马康SMT周边设备仪器；GOOT固特SMT电烙铁及电焊台等
公司性质：
经销商

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