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当前产品3轴机械臂真空3轴圆柱坐标型机械手臂

3轴机械臂真空3轴圆柱坐标型机械手臂

参考价面议
具体成交价以合同协议为准
  • 公司名称上海衡鹏企业发展有限公司
  • 品       牌
  • 型       号
  • 所  在  地上海
  • 厂商性质经销商
  • 更新时间2025/5/13 13:33:59
  • 访问次数1
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产品详情

真空3轴圆柱坐标型机械手臂特点： 

真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3000系。适用于真空腔室内的晶圆搬运

相比SVHR系列机械手臂，可搬运质量提升2倍，具有较好的性价比优势

另外还保持了和SVHR系列机械手臂的兼容性，方便客户对设备进行升级改造

机械手臂标准臂长:160mm, 190mm, 260mm, 330mm

手臂关节处使用磁流体密封装置

真空密封：磁流体密封装置和波纹管

提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5µm级过滤器

配备动作监视器

控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式

全轴采用2相步进电机

S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆

可以选配2相步进电机规格

手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质

晶圆固定方式：下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式

可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供的手指


真空3轴圆柱坐标型机械手臂基本参数：

使用环境

真空部：温度 15℃～50℃

驱动结构内部：洁净间内的大气环境

温度 15℃～40℃

手臂

单臂

到达距离

520mm (手臂第3关节中心到达距离)

升降轴行程

20mm / 40mm

可搬运质量

2kg (手臂第3关节处基准)




如需详细产品参数 请联系我们


免责声明：以上所展示的信息由企业自行提供，内容的真实性、准确性和合法性由发布企业负责，兴旺宝网对此不承担任何保证责任。

发布询价单

上海衡鹏企业发展有限公司

类型：
经销商
联系人：
陈静静

联系我时，请说明是在兴旺宝上看到的，谢谢

商家概况

主营产品：
TAMURA田村锡膏、助焊剂；Malcom马康SMT周边设备仪器；GOOT固特SMT电烙铁及电焊台等
公司性质：
经销商

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