5轴机械臂5轴真空水平多关节型洁净机械手臂

实现了下降价格，但是也可以维持以前的GTVHR5000系统的机能，功能

能够在真空环境下对应并排摆放的腔室工作台布局，能够灵活地适应不同类型设备的多种布局

通过优化机械手臂的空间尺寸，有利于减小真空腔室的内部容积

非常适合inline设备

机械手臂标准臂长：280mm, 330mm

手臂关节处使用磁流体密封装置

真空密封：磁流体密封装置以及波纹管

提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5µm级过滤器

双手指机构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间

配备动作监视器

控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式

全轴采用值编码器规格的AC伺服电机

S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆

手指材质：CFRP（碳纤维），铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质

晶圆固定方式：下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式，利用O型胶圈的摩擦力来保持位置

可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供的手指

工艺室温度

450°C

手臂

单臂

到达距离

635mm (手臂第3关节中心基准)

升降轴行程

60mm

可搬运质量

4kg (手臂第3关节处基准)