川崎 NT510 工作范围：1230mm

无尘机器人外设:

• 抓手
• 校准器NS004
• 的伸展距离单个的NT系列手臂可以伸展到四个FOUP。选配的线性轴可以增加FOUP多到五个。高吞吐量标准NT机器人的吞吐量是用校准器280晶圆每小时（WPH）与不用校准器400WPH。可用选配的抓手，增加吞吐量到700WPH。SEMI F47合规NT型号可以瞬时响应电波动，如电压下降，并且在电压恢复时自动恢复运行。SEMI S2合规NT型号可以满足对环境和人身安全的特殊考虑。碰撞检测软件和硬件组件都配备有碰撞检测功能，以减少碰撞所造成精密、专用设备的损坏。悬挂式安装NT620型号具有吊装规格设计，用于在化学液体环境中使用，同时满足ISO1级的要求。

  应用范例

  

  NT系列宽广的运动范围使其能够访问主室，而不需要一个梭子或额外的机器人。

  布局范例

  

  一个单个的NT系列机器人能够不使用轨道而只用2到4个FOUP就访问所有的EFEM。

  NT系列机器人规格

  型号		NT410	NT420	NT510	NT520	NT620
  构造		水平多关节型
  自由度		4 轴	5 轴	4 轴	5 轴	5 轴
  运动范围	θ1 轴 (旋转JT2)	340°	340°	340°	340°	340°
  	Z 轴 (上下JT3)	400 mm	400 mm	470 mm	470 mm	600 mm
  	θ2 轴 (旋转JT4)	340°	340°	340°	340°	340°
  	H1 轴 (旋转JT6)	340° (380°) *2	340° (380°) *2	340° (380°) *2	340° (380°) *2	340° (380°) *2
  	H2 轴 (旋转JT7)	-	340°	-	380°	380°
  大伸展距离		1,230 mm	1,280 mm	1,230 mm	1,280 mm	1,250.7 mm
  重复性		± 0.1 mm （晶圆中心）
  无尘度*1		ISO 1级
  控制柜		D60/D61 (规格见无尘控制柜)

  *1: 于川崎的无尘间内测得