纳米机械手

 纳米技术检测服务平台是一种与众不同的解决方案，它将mibot纳米技术机械臂变化为强劲的纳米技术探针，用以sem中集成电路工艺和材料的原位电特性表征。纳米技术机械臂精心策划以尽量避免对测定数据信号的干挠，泄露电流可低至100 fa/v。屏蔽电缆将每一摄像头从演出舞台联接到国家标准的引出线射频连接器。这一服务平台容许您在好多个mm的工作中室内空间上单独置放高达4个探针，像素达到纳米技术。*后但并不是*不关键的是，演出舞台紧凑型的设计方案促使这类解决方案以至于对这些光学显微镜有一个小真空室的人而言都是行得通的。



 形象化的原位低电流量电气测定。将探针**与集成电路芯片触碰，测定集成化元器件的电气特性并防护缺点。 Imina Technologies的Nanoprobing SEM解决方案是微电子器件电气特性和原位半导体材料常见故障剖析的交钥匙工程。

 *多能够出示多种多样配备的miBot™纳米技术过滤装置，以融入顾客的运用规定和机器设备。 miBot™是一款杰出的便于应用且作用繁多的压电驱动器小型智能机器人，可使您将摄像头精准定位在mm级试品上，像素低至氧化硅。这种纳米技术探针的4个可玩性使作业者可以在试验期内非常容易地调整探针的趋向。

 环形服务平台能够安裝在SEM试品精准定位台子上，还可以根据SEM载入锁载入。包裝出示了一套电源适配器，基本上能够对一切SEM开展更新改造，即便是这些含有小腔室的SEM。

 致力于低电流量测定而设计方案，纳米技术构造的电气特性可根据屏蔽电缆与第三方开关电源表模块（SMU）和数据信号检测仪开展，具备优异的信噪比。

 上等的原位前置放大器和扫描仪超声波发生器与Nanoprobing解决方案适配，可实行定量分析EBIC和低噪音EBAC / RCI剖析。

 尽管安裝和拆装演出舞台安裝版本只需十多分钟并且不用长期性地改动光学显微镜的腔室，可是载入锁住适配版本出示了*高的货运量来拆换被测机器设备和摄像头**防止开启腔室的必须。

 以智能机器人服务平台为基地的直径合适多种类型的SEM短截线，让您能够像之前一样观查试品。